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海德創業(北京)生物科技有限公司

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超平硅片(基底材料)

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  • 更新時間:
  • 所 在 地:
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  • 海德創業(北京)生物科技有限公司
  • 2018-03-19 13:24:47
  • 北京市
  • 美國
  • 2008

我要詢價 具體成交價以合同協議為準

【簡單介紹】

供貨周期 一個月 規格 1片
貨號 71893 主要用途 AFM、SEM用硅片
超平硅片(基底材料),常作為AFM基地片用在科學研究中。超平,直徑有100mm、150mm、200mm三種規格可選。

【詳細說明】

超平硅片(基底材料)

超平硅片(基底材料),常作為AFM基地片用在科學研究中。超平,直徑有100mm、150mm、200mm三種規格可選。

的一些參數如下:

 

4"

6"

8"

直徑

100 mm

150 mm

200 mm

向性

<100>

<100>

<100>

級別

P/Boron

P/Boron

P/Boron

Growth Method:

CZ

CZ

CZ

電阻率

10-20 Ohm-cm

10-20 Ohm-cm

10-20 Ohm-cm

厚度

525µm ±20µm

675µm ±20µm

725µm ±20µm

TTV:

<4.00µm

<4.00µm

<4.00µm

SFPD:

<2.0µm

<2.0µm

<2.0µm

Warp:

≤30µm

≤30µm

≤30µm

Bow:

≤30µm

≤30µm

≤30µm

微粒數

≤20@≥0.3µm

≤20@≥0.3µm

≤20@≥0.3µm

正面Front Surface

Polished

Polished

Polished

背面Back Surface

Etched

Etched

Etched

平整度Flat:

2 per SEMI Standard

1 per SEMI Standard

2 per SEMI Standard

Site Flatness:

<2.0µm

<2.0µm

<2.0µm

粗糙Roughness

Typically 2-3Å

Typically 2-3Å

Typically 2-3Å

銷售信息:

貨號

產品名稱

規格

71893-01

Ultra-Flat Silicon Wafer, 4"

1

71893-02

Ultra-Flat Silicon Wafer, 6"

1

71893-03

Ultra-Flat Silicon Wafer, 8"

1

 

    
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