ATOS阿托斯油缸
所示為一種動圈式二級方向伺服閥。它主要由動圈式力馬達、噴嘴擋板式氣動放大器、滑閥式氣動放大器、反饋彈簧等組成。噴嘴檔板氣動放大器做前置級，滑閥式氣動放大器做功率級。
這種二級方向伺服閥的工作原理是：在初始狀態(tài)，左右兩動圈式力馬達均無電流輸入，也無力輸出。在噴嘴氣流作用下，兩擋板使可變節(jié)流器處于全開狀態(tài)，容腔3、7內(nèi)壓力幾乎與大氣壓相同。滑閥閥芯被裝在兩側(cè)的反饋彈簧5、6推在中位，兩輸出口A、B與氣源口P和排氣口O均被隔開。
當(dāng)某個動圈式馬達有電流輸入是（例如右側(cè)力馬達），輸出與電流I成正比的推力Fm將擋板推向噴嘴，使可變節(jié)流器的流通面積減小，容腔6內(nèi)的氣壓P6升高，升高后的P6又通過噴嘴對檔板產(chǎn)生反推力Ff。當(dāng)Ff與Fm平衡時，P6趨于穩(wěn)定，其穩(wěn)定值乘以噴嘴面積Ay等于電磁力。另一方面，P6升高使閥芯兩側(cè)產(chǎn)生壓力差，該壓力差作用于閥芯斷面使閥芯克服反饋彈簧力左移，并使左邊反饋彈簧的壓縮量增加，產(chǎn)生附加的彈簧力Fs，方向向右，大小與閥芯位移X成正比。當(dāng)閥芯移動到一定位置時，彈簧附加作用力與7、3容腔的壓差對閥芯的作用力達到平衡，閥芯不在移動。此時同時存在閥芯和擋板的受力平衡方程式
此精確地控制氣體流量往往是不必要的。單純的壓力式或流量式比例/伺服閥應(yīng)用不多，往往是壓力和流量結(jié)合在一起應(yīng)用更為廣泛。
    電---氣比例閥和伺服閥主要由電---機械轉(zhuǎn)換器和氣動放大器組成。但隨著近年來廉價的電子集成電路和各種檢測器件的大量出現(xiàn)，在1電---氣比例/伺服閥中越來越多地采用了電反饋方法，這也大大提高了比例/伺服閥的性能。
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