產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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儀器種類 | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,建材,電氣,綜合 |
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
CVD系統(tǒng)配有前端預(yù)加熱爐,輔助固態(tài)源蒸發(fā),后端為單溫區(qū)加熱爐 ,溫度控制精確,操作簡便,對于氣相沉積,二維材料,等離子處理生長工藝非常合適,也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實驗。
1.與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長溫度更低。
2.使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫。
3.設(shè)備*的技術(shù)使得整管輝光均勻等效,均勻生長
1.加熱系統(tǒng)
最高溫度 | 1200℃ |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ50mm(爐管直徑可根據(jù)實際需要定制) |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定 |
加熱長度 | 200+200mm |
恒溫長度 | 100+100mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 單相,220V,50Hz |
2、預(yù)熱系統(tǒng)系統(tǒng)
最高溫度 | 400℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ50mm(爐管直徑可根據(jù)實際需要定制) |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定 |
加熱長度 | 100mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
額定功率 | 800W |
3、PE系統(tǒng)
功率輸出范圍 | 0W~500W |
最大反射功率 | 100W |
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率穩(wěn)定度 | ≤5W |
諧波分量 | ≤-50dbc |
供電電壓 | 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ |
整機(jī)效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
4、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標(biāo)準(zhǔn)量程(N2) | 50sccm,100sccm、500sccm(可根據(jù)用戶要求定制) |
準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S |
線性 | ±1%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
響應(yīng)時間 | 氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1~0.5 MPa |
最大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
5、低真空機(jī)組
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作環(huán)境 | 5℃~40℃ |
工作電電壓 | 280V |
抽氣速率 | 32m³/h |
極限真空 | 5X10-1Pa(空載冷態(tài)) |
工作壓力范圍 | 1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
進(jìn)氣口口徑 | KF40 |
排氣口口徑 | KF40 |
連接方式 | 采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連 |