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行業(yè)產(chǎn)品

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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司>>PECVD系統(tǒng)>>智能型>> PECVD-500A-D智能型PECVD系統(tǒng)(含壓力控制系統(tǒng))

智能型PECVD系統(tǒng)(含壓力控制系統(tǒng))

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 PECVD-500A-D
  • 品牌 貝意克
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市
在線詢價 收藏產(chǎn)品

更新時間:2024-02-18 15:17:14瀏覽次數(shù):1932

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產(chǎn)品簡介

智能PECVD設(shè)備是目前最新型的一款設(shè)備,將所有的控制部分集為一體,此款設(shè)備是我司于2013年研發(fā)成功的,可配備PE射頻電源,將CVD系統(tǒng)升級為PECVD。當(dāng)參與反應(yīng)的氣氛進(jìn)入爐管在射頻電源的作用下產(chǎn)生離子體,可使反應(yīng)更加充分。同時等離子體起增強(qiáng)的作用,從而很大程度上優(yōu)化實(shí)驗(yàn)的工藝條件。

詳細(xì)介紹

 我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。

 與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長溫度更低。

 使用滑軌爐實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。

 設(shè)備*的技術(shù)使得整管輝光均勻等效,均勻生長。

主要特點(diǎn):

1.薄膜沉積速率高:射頻輝光技術(shù),大大的提高了薄膜的沉積速率,沉積速率可達(dá)10?/S;
2. 大面積均勻性高:采用了*的多點(diǎn)射頻饋入技術(shù),特殊氣路分布和加熱技術(shù)等,使得薄膜均勻性指標(biāo)達(dá)到8%;
3. 一致性高:用半導(dǎo)體行業(yè)的*設(shè)計理念,使得一次沉積的各基片之間偏差低于2%;
4. 工藝穩(wěn)定性高:高度穩(wěn)定的設(shè)備保證了工藝的連續(xù)和穩(wěn)定;

技術(shù)參數(shù):

1、單溫區(qū)加熱系統(tǒng)

最高溫度

1200

使用溫度

1100

爐膛有效尺寸

Φ60*1650mm

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K

控溫精度

1

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,

?操作界面為10"工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序,

?可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動(時間和距離)設(shè)定為程序控制。

加熱長度

440mm

恒溫長度

200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

220V

額定功率

3KW


2PE射頻電源

CVD系統(tǒng)可配備PE射頻電源,將CVD系統(tǒng)升級為PECVD。當(dāng)參與反應(yīng)的氣氛進(jìn)入爐管在射頻電源的作用下產(chǎn)生離子體,可使反應(yīng)更加充分。同時等離子體起增強(qiáng)的作用,從而很大程度上優(yōu)化實(shí)驗(yàn)的工藝條件

信號頻率

13.56 MHz±0.005%

功率輸出范圍

500W

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度

±0.1%

諧波分量

-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V 頻率50/60HZ

整機(jī)效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷


3、五路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

供氣系統(tǒng)是一種可控制4種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求加裝洗氣裝置,質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動機(jī)柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成觸摸屏控制

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程

氬氣:1000sccm

氫氣:300sccm

甲烷:100sccm

氮?dú)猓?00sccm

氧氣:100sccm

準(zhǔn)確度

±1.5%

線性

±0.51.5%

重復(fù)精度

±0.2%

響應(yīng)時間

氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.10.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6或者1/4''可選

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

0.10.15 MPa, 0.01 MPa/


4真空機(jī)組

真空機(jī)組,內(nèi)部安裝雙極旋片機(jī)械泵1臺,電容真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。設(shè)備冷態(tài)極限真空可達(dá)0.5Pa

工作電電壓

220V

功率

1

抽氣速率

16m3/h

極限真空

0.5Pa

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

電容真空計

ZDM-I(

5-5000pa

不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。具有較高的精確度和重復(fù)性,響應(yīng)時間較短


5、壓力控制系統(tǒng):

壓力控制系統(tǒng)主要部件蝶閥、壓力控制器、電容真空計組成。

壓力控制系統(tǒng)的作用:根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求,在出氣端和泵之間增加蝶閥(調(diào)節(jié)閥)和真空計,真空計可檢測管內(nèi)壓力,通過 PLC 調(diào)節(jié)蝶閥(調(diào)節(jié)閥)開啟的大小,以達(dá)到控制管內(nèi)壓力不變。

壓力可范圍:100~100000Pa

控制精度:測量值±5%




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