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當(dāng)前位置:昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司>>愛德華>>真空泵>> iH80、iH160、iH600英國愛德華iH晶圓半導(dǎo)體干式真空泵iH80維修

英國愛德華iH晶圓半導(dǎo)體干式真空泵iH80維修

訂       金: 20000

訂  貨  量: ≥1 

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號iH80、iH160、iH600

品牌Edwards/英國愛德華

廠商性質(zhì)其他

所在地蘇州市

更新時(shí)間:2019-03-24 21:22:44瀏覽次數(shù):1299次

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泵軸位置 其他 功率 6.2kW
極限壓力 1pa 流量 103m3/h
排出口徑 NW40mm 輸送介質(zhì) 其他
葉輪數(shù)目 其他 重量 240kg
Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能英國愛德華iH晶圓半導(dǎo)體干式真空泵iH80維修

英國愛德華iH晶圓半導(dǎo)體干式真空泵iH80維修

概述

Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
  
iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

應(yīng)用

  • 負(fù)載鎖
  • 輸送
  • 計(jì)量
  • 平版印刷
  • PVD 制程
  • PVD 預(yù)清潔
  • RTA
  • 剝離/灰化
  • 刻蝕
  • 植入源
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD

 

功能和優(yōu)勢

  • 優(yōu)化了設(shè)施消耗。
  • 無需預(yù)防性維護(hù)。
  • 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
  • 在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
  • 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
  • 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
  • 整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度103 m3h-1
 61 cfm
 1717 l min-1
極限真空1 x 10-2 mbar
 7.5 x 10-3 Torr
 1 Pa
典型軸封氮流量4 slm
進(jìn)氣口連接ISO63
出口連接NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量120 l h-1
 2 l min-1
重量240 kg
極限功率輸入2.7 kW
電機(jī)額定功率3.5 kW
油容量0.7 l


  
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。

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