英國愛德華渦輪分子真空泵STPA1603C ISO200F 進(jìn)氣口

概述

小巧而強(qiáng)大的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 良好的轉(zhuǎn)子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)。它提供*的吞吐量、高的可靠性和的性能，滿足新一代半導(dǎo)體制程的需要。其半機(jī)架的控制器和緊湊型設(shè)計(jì)可節(jié)省可觀的空間，而其良好的沉積減少系統(tǒng)提高了可靠性和性能。STPA1603C 已經(jīng)在的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿足新一代 300 mm 氧化物腐蝕制程的需要。愛德華STPA1603C STPA2203C渦輪分子真空泵

應(yīng)用

• 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
• MBE
• 擴(kuò)散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長
• 晶片檢查
• 負(fù)載鎖真空腔
• 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線、加速器
• 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋愛德華STPA1603C STPA2203C渦輪分子真空泵

  功能和優(yōu)勢(shì)

  良好的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)  

• 改進(jìn)的性能

• 更高的氣體吞吐量

• 高度可靠

• 免維護(hù)

• 可用于嚴(yán)苛制程

• 5 軸磁懸浮系統(tǒng)  

• 無污染

• 低振動(dòng)

• 防腐蝕  

• 可用于嚴(yán)苛制程

• 使用壽命延長

• 緊湊型設(shè)計(jì)  

• 占地面積小

• 半機(jī)架控制器

• 良好的控制器設(shè)計(jì) 

• 自動(dòng)調(diào)整

• 自行診斷功能

• 直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)

• 無電池運(yùn)行

  技術(shù)數(shù)據(jù)

  入口法蘭	ISO200F
  出口	KF40
  吹掃口	KF16
  水冷卻接頭	PT1/4
  抽速
  N2	1600 ls-1
  H2	1200 ls-1
  壓縮比
  N2	>108
  H2	>7 x 103
  加熱時(shí)的極限壓力	10-7 Pa
  大允許前級(jí)壓力	266 Pa
  	(2 Torr)
  大氮?dú)馔掏铝?/td>	2500 sccm
  額定速度	36500 rpm
  啟動(dòng)時(shí)間	7 分鐘
  固定位置	任意
  水冷卻流量	2 lmin-1
  溫度	5-25 °C
  壓力	0.3 MPa
  推薦的吹掃氣體流量	20 sccm
  輸入電壓	200 至 240 (± 10) V 交流
  功耗	0.85 kVA
  泵重量	35 kg
  控制器重量	9 kg

 蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵
如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺(tái)州衢州愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

濟(jì)南青島威海德州連云港昆明九江安慶愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

一、進(jìn)口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進(jìn)口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進(jìn)口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。