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英國愛德華EPX180L干式真空泵維修保養(yǎng)

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訂  貨  量: ≥1 

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號EPX180L EPX180LE EPX180N

品牌Edwards/英國愛德華

廠商性質(zhì)其他

所在地蘇州市

更新時間:2019-03-25 11:13:30瀏覽次數(shù):3613次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
泵軸位置 其他 抽氣速率 47l/s
功率 1.4kW 極限壓力 0.01pa
流量 170m3/h 排出口徑 NW25mm
輸送介質(zhì) 其他 葉輪數(shù)目 其他
重量 43.5kg
新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX180 使用了*的保護(hù)機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。英國愛德華EPX180L干式真空泵維修保養(yǎng)

英國愛德華半導(dǎo)體EPX180L 干式真空泵

 

概述

新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX180 使用了*的保護(hù)機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。英國愛德華EPX180L干式真空泵維修保養(yǎng)

技術(shù)

EPX 泵系統(tǒng)在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作,增壓室內(nèi)無潤滑或密封液。這樣可以確保泵送系統(tǒng)清潔,不會因為系統(tǒng)的排空而使油或液體回流到系統(tǒng)中。

泵的定子和封閉馬達(dá)通過集成化水冷回路進(jìn)行冷卻。因此,EPX 泵適合在不允許使用風(fēng)扇的潔凈室環(huán)境下使用。冷卻水供應(yīng)和回水管通過水接頭(由客戶)連接到泵。冷卻水的提供必須與環(huán)境條件(濕度和溫度)相當(dāng),以便不會達(dá)到結(jié)露點。

泵裝有一個 EMC 供應(yīng)過濾器和一個變換器驅(qū)動,該驅(qū)動可提供和控制泵馬達(dá)的電源。前蓋上的 LED 標(biāo)識 EPX 泵的狀態(tài)。馬達(dá)速度取決于泵入口處的壓力。當(dāng)泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動時,馬達(dá)會加速到某個速度,該速度受可以由變換器驅(qū)動提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低,馬達(dá)速度會加快,直至該速度終達(dá)到其預(yù)定的大速度。如果入口處的壓力增大,則馬達(dá)速度會再次減慢。

EPX L 系列的泵不能進(jìn)行手動操作;這些泵必須通過外部控制設(shè)備進(jìn)行控制和監(jiān)視,而控制設(shè)備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。

EPX 泵由四個振動隔離器進(jìn)行支持。

泵保護(hù)傳感器可在出現(xiàn)故障狀態(tài)時自動關(guān)閉泵。英國愛德華EPX180L干式真空泵維修保養(yǎng)

應(yīng)用

  • EPX 系列涵蓋廣泛的應(yīng)用,從水處理到中度工作負(fù)載的制程。

    EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負(fù)荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應(yīng)用。

功能和優(yōu)勢

  • 緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一,EPX 顯著節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節(jié)省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠(yuǎn)程安裝。
  • 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可大化功率效率。
  • *的保護(hù)機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力,并可以在所有進(jìn)氣口壓力下連續(xù)工作。
  • 超清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。
  • 非常可靠 – EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX 技術(shù),具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,延長了泵的使用壽命。
  • 可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò),以進(jìn)行診斷監(jiān)視和控制。

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度170 m3h-1
 105 ft3min-1
 2835 lmin-1
極限真空 
 <1 x 104 mbar
 <7.5 x 10-5 Torr
 <1 x 10-2 Pa
預(yù)熱時間(達(dá)到標(biāo)稱性能)30 分鐘
入口法蘭ISO63
出口法蘭NW25
噪音<59 dB(A)
水接頭3/8 in 快速
小冷卻水流速2 lm-1
冷卻水溫度15 – 35°C
電源供給200/208 V,50/60 Hz 三相
極限功率1.4 kW
電機額定功率3.0 kW
TIMC3
重量43.5 kg

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