高精密勻膠機(jī)
主要性能指標(biāo):
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
旋涂程序:多存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可精確到0.1秒
轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-5,000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm
旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm
工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec
支持wafer尺寸1cm-300mm(12“圓晶)
旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)
高精密勻膠機(jī)
產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn):
的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。
on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。
采用工業(yè)級別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,*生銹,便于清洗。
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發(fā)。
產(chǎn)品外型尺寸:
613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)
產(chǎn)品名稱:透光率測試儀/分體式透光率儀 產(chǎn)品型號: 0682 |
透光率測試儀/分體式透光率儀 型號: 0682
發(fā)光光源: LED光源
探 頭: 0682
測量范圍: 0.0-100.0%
測量顯示: %光束濾射
基體厚度: ≤10mm
基體尺寸: 直徑 ≥22mm
測量精度: 優(yōu)于±2%
靈 敏 度: 0.1%
工作溫度: 5℃-40℃
相對濕度: ≤ 85%
工作電源: DC9V×1電池
統(tǒng)計(jì)功能: 平均值、大值、小值、測量次數(shù)
特 點(diǎn): 被測物夾在圓筒形測光簡之間,儀器上顯示出測量的數(shù)據(jù)
體積小巧,方便攜帶
菜單人性化設(shè)計(jì),操作簡單
高精度,測量準(zhǔn)確
電池供電,用機(jī)器自帶的充電器進(jìn)行充電
附 件: 可充電9V電池2塊、清潔布1塊、充電器1個(gè)、說明書1份
全自動(dòng)低溫閉口閃點(diǎn)測定儀 型號:DRT-2200C
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