激光干涉儀CHOTESE SJ6000機(jī)床儀器測距儀具有測量*度*、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率*等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的*測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等分析。
*、激光干涉儀CHOTESE SJ6000機(jī)床儀器測距儀實物圖:
二、特點(diǎn)、用途、技術(shù)參數(shù):
- 產(chǎn)品型號:SJ6000
- 產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀
- 測量方式:單頻
- 穩(wěn)頻*度:±0.05ppm
- 測量*度:±0.5ppm(0-40)℃
- 線性測量距離:(0-80)m
- 測量分辨率:1nm
- 動態(tài)采集頻率:50KHz
- 預(yù)熱時間:≤6分鐘
- 工作溫度范圍:(0-40)℃
- 環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
- 主要特點(diǎn):應(yīng)用范圍廣、測量*度*、操作方便
1. 產(chǎn)品簡介
激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義,是迄今*的*、*靈敏度的測量儀器,在*端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于*體,產(chǎn)品采用進(jìn)口*性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)*、*干擾能力強(qiáng)、穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用*速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實現(xiàn)4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用*環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償;采用*性能計算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/span>
SJ6000激光干涉儀具有測量*度*、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率*等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的*測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
2.產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖*列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動*密轉(zhuǎn)臺。
其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位*度、重復(fù)定位*度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
3.工作原理
激光器發(fā)射單*頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,*道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而*道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入*個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有*個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩*之間找到穩(wěn)定的信號。
若光程差有變化時,探測器會在每*次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩*之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
4. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)
◆*度*
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)*、*干擾能力強(qiáng)、穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用*環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,干涉光路穩(wěn)定可靠。
◆功能廣
● 可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的**密測量;
● 可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等*密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位*度、重復(fù)定位*度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
● 可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);
● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
● 具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
● 支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
◆軟件強(qiáng)
● 友好的人機(jī)界面;
● 豐富的應(yīng)用功能模塊;
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● 簡潔化的記錄管理;
● 支持中文、英文和俄文界面;
● 支持企業(yè)*屬模板定制。
三、使用環(huán)境幾保養(yǎng):
1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。
2、在移動儀器時,為防止導(dǎo)軌變形,應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動。
3、儀器的光學(xué)零件在不用時,應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放,以防止發(fā)霉。
4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭,利用*的方法進(jìn)行清潔。
5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑。因此必要時要使用*密儀表油潤滑。
6、在使用時應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況,合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。
7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿,保持其不失油。
維護(hù)/激光干涉儀
1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動,儀器搬動 時,應(yīng)托住底座,以防導(dǎo)軌變形。
2、光學(xué)零件不用時,應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡*般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上混合液輕拭。
3、傳動部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應(yīng)用T5*密儀表油潤滑。
4、使用時,各調(diào)整部位用力要適當(dāng),不要強(qiáng)旋、硬扳。
5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態(tài)。
6、 經(jīng)過*密調(diào)整的儀器部件上的螺絲,都涂有紅漆,不要擅自轉(zhuǎn)動。