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美國SVT激光分子束外延設備/LMBE/Laser MBE

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參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號 SVTA-LMBE
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 國外
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更新時間:2024/11/28 14:38:48瀏覽次數:6836

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產品簡介

產地類別 進口 應用領域 電子,汽車
美國SVT激光分子束外延設備/LMBE/Laser MBE:
Laser MBE具備PLD和傳統MBE的特點,對薄膜的生長速率進行精確(原子層級別)控制。設備特點是在MBE系統上增加激光燒蝕工藝,系統可以生長包括高熔點陶瓷以及多元素固體材料等各種材料。SVT有20年的MBE設備制造經驗,我們擅于通過在線監控薄膜生長來提高薄膜質量。

詳細介紹

產品簡介

Laser MBE具備PLD和傳統MBE的特點,對薄膜的生長速率進行精確(原子層級別)控制。設備特點是在MBE系統上增加激光燒蝕工藝,系統可以生長包括高熔點陶瓷以及多元素固體材料等各種材料。SVT有20年的MBE設備制造經驗,我們擅于通過在線監控薄膜生長來提高薄膜質量。所采用的在線監控儀器包括:溫度測量儀、厚度測量儀、RHEED、束流監控儀等。如果您想了解更多這方面的信息,請。

 

應用

氧化物半導體、高溫超導材料、光學晶體材料、電光學薄膜、鐵電以及鐵磁材料等

 

標準性能

● 超高真空(本底壓強<1E-10 Torr)

● 集成多種類型源,包括:

- RF等離子體源

- 熱蒸發源

- 電子束蒸發源

- 臭氧傳送系統

● 先進的在線監控儀(可選)

- 原子吸收束流監控儀

- RHEED

- 溫度以及厚度測量儀

● 6個可旋轉PLD靶

● 高功率準分子激光器

● 提供合適的泵抽組合

● 多種腔室配置以滿足您的需求

● 培訓以及服務支持

 

技術參數

Nitride Systems
Oxide Systems
Silicon Systems
Metal Organic Systems
Generic III-V and II-VI Systems
Compact MBE System (pdf brochure)
Dual Chamber MBE System (pdf brochure)

 

 

 

 

 

 

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