借助F54-XY-200薄膜厚度測量儀光譜反射系統，可以輕松地測量尺寸達200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供厚度測量，達到每秒兩點。您可以從數十種預定義的極性，矩形或線性測量坐標圖案中選擇，也可以創建自己編輯的測量點數量。此桌面系統只需幾分鐘即可完成設置，任何具有基本計算機技能的人都可以使用。

F54-XY-200 薄膜厚度測量儀

---

自動薄膜厚度測繪系統

借助F54-XY-200光譜反射系統，可以輕松地測量尺寸達200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供厚度測量，達到每秒兩點。您可以從數十種預定義的極性，矩形或線性測量坐標圖案中選擇，也可以創建自己編輯的測量點數量。此桌面系統只需幾分鐘即可完成設置，任何具有基本計算機技能的人都可以使用。

圖案表面的顯微測量

F54-XY-200具有集成的顯微鏡和實時攝像頭，可以精確監控膜厚測量點。小尺寸的測量光斑允許測量有圖案的樣品，并且可以改善在較粗糙的材料上的測量性能。

FILMAPPER軟件-測量自動化測繪模式生成器

內置的測繪圖案生成器使您可以輕松的生成測量樣品相關區域所需的坐標圖案，從而節省了數據采集時間。以下是您可以調整的自定義測繪屬性的一些參數:

• 樣品形狀:圓形或矩形

• 徑向，矩形或線性圖案

• 中心和邊緣去除

• 點密度