目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>專用實(shí)驗設(shè)備>>測振儀>> 顯微式激光測振儀
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 1萬-3萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
顯微式激光測振儀
意大利Julight顯微式 激光測振儀是一款結(jié)合激光測振傳感器和數(shù)字顯微鏡的一體化測量系統(tǒng)。激光測振儀被附在顯微鏡的特殊調(diào)節(jié)架上，邊通濾波鏡主要用以紅外激光和可見激光的反射，然后分別聚焦到測試目標(biāo)上。濾波鏡能夠傳遞 20%從測試表面上散射回來的光，并且在 cmos 攝像機(jī)的傳感器上聚焦。為了能對中方便，顯微鏡裝在一個俯仰、傾斜和旋轉(zhuǎn)位移臺上。顯微鏡激光測振儀測量測試表面的法向分量的振動。
顯微式激光測振儀主要用于芯片/電力半導(dǎo)體器件/半導(dǎo)體薄膜/MEMS的零部件/電子器件和供電內(nèi)部連接件/MEMS 加速度傳感器模子的振動模態(tài)及結(jié)構(gòu)優(yōu)化。如：硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS 激光加工、晶片測試、半導(dǎo)體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導(dǎo)線框架等產(chǎn)品的檢測觀察。
顯微式 激光測振儀產(chǎn)品參數(shù)
顯微式 激光測振儀產(chǎn)品特點(diǎn)
| ■ 頻帶寬蕞高可達(dá)35 MHz | ■ 單點(diǎn)/二維/三維 可選 |
| ■ 位移分辨率 10 pm | ■ 光斑大小< 4um |
| ■ 蕞大速度 ±40 m/s @3MHz | ■ 精度 1% |
顯微式 激光測振儀實(shí)驗場景
顯微式 激光測振儀應(yīng)用
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