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京南華建特氣柜制定結構

閱讀:479          發布時間:2023-4-21

京南華建特氣柜制定結構

特氣柜主要用要供應特種氣體,如易燃,易爆,劇毒等,主要用于半導體和LED的新興行業。

本實用新型涉及一種氣體的供氣裝置,特別涉及一種應用在半導體、微電 子、光電等行業內工藝制程中使用到的易燃易爆、有毒有害、腐蝕性等特種 氣體最合適的鋼瓶儲存、安全穩定供氣的特氣柜。

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背景技術:

科技在不斷前進,技術不斷革新,因此半導體和新能源產業也隨之蓬勃發 展,作為工業的血脈氣體,得到了更廣泛的利用。

氣體由于其本身的物理和化學性質,決定了其在工業中被廣泛利用同時,

也伴隨了很高的危險性;氣體有毒性的,腐蝕性的,可燃性的,其無論是哪 一種都會對人造成致命的危害,因此對于氣體鋼瓶的儲存、使用及輸送便提 出了很高的要求.對于氣體的使用不僅是在安全的可靠性,還有就是對于輸 送到工藝設備時怎樣滿足工藝的要求。

因此特別需要一種符合上述要求的特氣柜。

◆按瓶數分類:單瓶柜(架)/二瓶柜(架)/三瓶柜(架)

◆按操作方式分類:手動、半自動。

◆氣路配件,接頭、閥門等全部是進口電子級材料,管道為316L,自動軌道焊接。

◆氣路設計合理完善,工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能,氣瓶柜留有排氣口,并具有負壓檢測 。

◆氣瓶柜箱體采用安全設計,所選用的材料適用于各種不同性質的氣體,美觀,緊湊,安全,質優價廉,可按照客戶要求定制。

◆完善的安全報警裝置,具有氣體泄漏檢測報警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警)報警信號被觸發時,自動切斷。

特氣柜主要應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,應用于半導體、太陽能電池、生物工程、微電子等行業

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