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渦輪分子泵 TwisTorr 84 FS

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  • 型號(hào)
  • 品牌 Agilent/安捷倫
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 杭州市

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更新時(shí)間:2019-01-09 11:21:44瀏覽次數(shù):538

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品類型 無油泵
價(jià)格區(qū)間 1萬-2萬 儀器種類 分子泵
Agilent渦輪分子泵 TwisTorr 84 FS采用 TwisTorr 拖動(dòng)級(jí)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動(dòng)級(jí)技術(shù)能提高小分子氣體(如氫氣和氦氣)壓縮比,從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和城耐受高前級(jí)壓力,進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì),變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。

詳細(xì)介紹

Agilent 渦輪分子泵 TwisTorr 84 FS特性:

1.創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 能提高小分子氣體壓縮比,而非常小巧的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)則實(shí)現(xiàn)了高性能和小的系統(tǒng)體積。

2.耐受高前級(jí)壓力 — 允許使用更小的前級(jí)泵,從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。

3.安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動(dòng),低噪音,好的軸承工作條件,延長泵的使用壽命,實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化,大程度減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并保證長時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。

4.*的軸承和干式潤滑劑 — 免維護(hù)、免油,實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。

5.銅制水冷通道(可選) — 可避免腐蝕,優(yōu)化熱傳遞性能,降低用水量和使用維護(hù)成本。

 

美國Agilent 渦輪分子泵 TwisTorr 84 FS采用TwisTorr拖動(dòng)級(jí)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr拖動(dòng)級(jí)技術(shù)能提高小分子氣體(如氫氣和氦氣)壓縮比,從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和城耐受高前級(jí)壓力,進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì),變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng),并能保證好的軸承工作條件,從而能延長工作壽命,大程度減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并能確保長時(shí)間穩(wěn)定性。TwisTorr84FS泵*的軸承和干式潤滑劑設(shè)計(jì),使得泵無需泵油和維護(hù),能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機(jī)架控制器。  

 

典型渦輪泵應(yīng)用:

安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。

 

典型渦輪泵應(yīng)用

領(lǐng)域詳細(xì)說明應(yīng)用
質(zhì)譜和分析儀器
  • 針對(duì)質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
  • 具有多入口泵組的定制泵
  • 低成本、易于使用、高分析性能
  • 對(duì)于 GC/MS,提供用于相對(duì)低氣體載荷環(huán)境的 1 個(gè)真空室和用于分析無機(jī)樣品的中等真空接口
  • 對(duì)于 LC/MS,需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
  • 對(duì)于 ICP-MS,提供多種真空系統(tǒng),包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
  • 對(duì)于 TOF 系統(tǒng),需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備
  • 質(zhì)譜
  • GC/MS
  • LC/MS
  • ICP-MS
  • TOF
科研中的真空應(yīng)用
  • 非常清潔、可靠和高性價(jià)比的 HV 和 UHV
  • 粗真空軸承未暴露于 UHV,降低了污染
  • 高速和高壓縮
  • 可以以任意角度安裝
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 高能物理
  • 融合技術(shù)
  • 一般 UHV 研究
  • 同步光源粒子加速器
工業(yè)真空加工
  • 為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案
  • 適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專業(yè)性能
  • 適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵

薄膜沉積:

  • 玻璃涂層設(shè)備(建筑和汽車玻璃,平板顯示器)
  • 薄膜太陽能電池生產(chǎn)(光電)
  • 光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)(CD、DVD、磁光光盤)
  • 磁性存儲(chǔ)介質(zhì)
  • 表面處理
  • 光學(xué)涂層(眼科、精密光電)
  • 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆

設(shè)備加工:

  • 生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管
  • 疏散燈(高速公路照明、投影機(jī))
  • X 射線管和電子設(shè)備

一般工藝:

  • 真空爐/冶金
納米技術(shù)儀器
  • 分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類物質(zhì)
  • 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
  • 低振動(dòng)渦旋泵適用于敏感的顯微分析
  • 可快速、無油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體
  • 集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制,幾乎不生成電磁噪音
  • 非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境
  • 高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體(He、H)
  • 符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求,例如真空裝載鎖
  • 通過對(duì)多個(gè)渦旋泵聯(lián)用一個(gè)前級(jí)泵,可提高工具的可靠性
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處
  • 電子顯微鏡(SEM、TEM)
  • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
  • 表面分析
  • 半導(dǎo)體制造

性能指標(biāo)

技術(shù)規(guī)格

抽速:
CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置:CFF 2.75 英寸 配置:KF 40 配置:


N2:67 L/s

N2:56 L/s

N2:49 L/s


He:63 L/s/

He:46 L/s

He:38 L/s/


H2:53 L/s

H2:40 L/s

H2:36 L/s


Ar:66 L/s

Ar:57 L/s

Ar:44 L/s

全轉(zhuǎn)速氣體流量(使用推薦的前級(jí)泵)
風(fēng)冷 (35 °C)
水冷 (25 °C, 65 L/h)
N2:100 sccm
N2:100 sccm
Ar:70 sccm
Ar:70 sccm
  
壓縮比:N2:≥ 1 × 1011He:2 × 106H2:5 × 104Ar:> 1 × 1011
極限真空*(使用推薦的前級(jí)泵)< 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr)   
入口法蘭CF 4.5 英寸(外徑)
CF 2.75 英寸(外徑)
ISO 63
KF40
  
前級(jí)管道法蘭KF 16 NW   
轉(zhuǎn)速81000 rpm(驅(qū)動(dòng)頻率 1350 Hz)   
啟動(dòng)時(shí)間< 2 分鐘   
推薦的前級(jí)泵機(jī)械:DS 40M-DS 102
干式泵:Agilent IDP-3,SH 110
   
工作位置任意位置   
操作環(huán)境溫度+5 °C 至 +35 °C   
空氣相對(duì)濕度0 至 90%(非凝縮)   
烘烤溫度

入口法蘭高溫度 120 °C(CFF 法蘭)

入口法蘭高溫度 80 ℃(ISO 法蘭)

   
潤滑油

長久性潤滑

 

   
冷卻要求風(fēng)冷:
水冷:
氣流溫度 +5 °C 至 +35 °C
冷卻水溫度:+15 °C 至 +25 °C

低流速:65 L/h (0.30 GPM)

壓力:2 至 4 bar(45 至 75 psi)
  
噪音壓力級(jí)別(全速運(yùn)行時(shí)距離 1 m 處)40 dB(A) *   
儲(chǔ)存溫度-40 °C 至 +70 °C   
高海拔3000 m   
認(rèn)證CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求   
重量 kg(磅):

泵 ISO 63:
2.5 (5.5)

 

 

 

 

泵 CFF 4.5 英寸:
3.5 (7.7)

 

 

 

 

泵 CFF 2.75 英寸:
3.34 (7.35)

泵 KF 40:
2.37 (5.22)

* 平均值 ± 4 dB(A) 標(biāo)準(zhǔn)差

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