目录:国仪量子技术(合肥)股份有限公司>>扫描电子显微镜>>扫描电镜SEM>> SEM3200国产电镜钨灯丝扫描电子显微镜
背散射电子图像分辨率 | 4 nm @ 30 kV | 产地类别 | 国产 |
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二次电子图象分辨率 | 3 nm @ 30 kVnm | 放大倍数 | 1-300,000x(底片倍率) 1-1000,000x(屏幕倍)x |
加速电压 | 0.2 kV~30 kVkV | 价格区间 | 50万-100万 |
仪器种类 | 钨灯丝 | 应用领域 | 医疗卫生,化工,生物产业,电子 |
国产电镜钨灯丝扫描电子显微镜SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深,成像富有立体感。丰富的扩展性,助您在显微成像的世界中尽情探索。
产品特点(*为选配件)
钨灯丝扫描电子显微镜特色功能
丰富拓展性
扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察,更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富,除支持常规的二次电子探测器(ETD)、背散射电子探测器(BSED)、X射线能谱仪(EDS)外,也预留了诸多接口,如电子背散射衍射(EBSD)、阴极射线(CL)等探测器都可以在SEM3200上进行集成。
背散射电子探测器
二次电子成像和背散射电子成像对比
背散射电子成像模式下,荷电效应明显减弱,并且可以获得样品表面更多的成分信息。
应用案例
型号 | SEM3200A | SEM3200 | ||
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电子光学系统 | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 | ||
分辨率 | 高真空 | 3 nm @ 30 kV(SE) | ||
4 nm @ 30 kV(BSE) | ||||
8 nm @ 3 kV(SE) | ||||
*低真空 | 3 nm @ 30 kV(SE) | |||
放大倍率 | 1-300,000x(底片倍率) | |||
1-1000,000x(屏幕倍) | ||||
加速电压 | 0.2 kV~30 kV | |||
成像系统 | 探测器 | 二次电子探测器(ETD) | ||
背散射电子探测器、低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等 | ||||
图像保存格式 | TIFF、JPG、PNG | |||
真空系统 | 真空模式 | 高真空 | 优于5×10-4 Pa | |
低真空 | 5~1000 Pa | |||
控制方式 | 全自动控制 | |||
涡轮分子泵 | ≥ 240 L/S | |||
机械泵 | 200 L/min (50 Hz) | |||
样品室 | 摄像头 | 光学导航 | ||
样品仓内监控 | ||||
样品台配置 | 三轴自动 | 五轴自动 | ||
行程 | X: 120 mm | X: 120 mm | ||
Y: 115 mm | Y: 115 mm | |||
Z: 50 mm | Z: 50 mm | |||
/ | R: 360° | |||
/ | T: -10°~ +90° | |||
软件 | 语言 | 中文 | ||
操作系统 | Windows | |||
导航 | 光学导航、手势快速导航 | |||
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | |||
特色功能 | 智能辅助消像散、*大图拼接(选配软件) | |||
安装要求 | 房间 | 长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm | ||
温度 | 20 ℃~25 ℃ | |||
湿度 | ≤ 50 % | |||
电气参数 | 电源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA |