圖：INVENIO FTIR-MAPPIR II
布魯克（北京）科技有限公司上海客戶體驗中心，新近安裝了傅立葉變換紅外半導體晶圓自動測試系統(tǒng)。
客戶體驗中心這套系統(tǒng)附件多樣、擴展口豐富、功能齊備，可以實現(xiàn)：
直徑4寸6寸8寸的晶圓鏡面反射和透射自動多點測量
根據(jù)ASTM/SEMI MF1391標準，進行室溫下硅晶圓中代位碳原子含量分析
根據(jù)ASTM/SEMI MF1188標準，進行室溫下硅晶圓中間隙氧含量分析
同質、異質外延層厚度分析，專業(yè)的擬合分析軟件，可用于亞微米量級至毫米量級單層、多層外延層厚度分析
磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)中硼和磷含量定量分析
SiN等離子層和Si-O基鈍化層等膜層分析
SiC同質外延厚度
單晶Si中代位碳，間隙氧含量
Si-SiO2-Si外延厚度
誠摯歡迎各位老師的蒞臨、參觀、試用、體驗與指導！
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