Femto SEM A三合一超快掃描電鏡解決方案采用飛秒級激光激發陰極電子束，同時在FE 槍和聚光透鏡之間引入脈沖發生器，該脈沖發生器可通過皮秒級射頻電激發電子束并可保持原始掃描電鏡的光束質量，并在脈沖發生器關閉時對正常操作的影響最小（理想情況下沒有），通過同頻異步雙激發可實現飛秒級時間分辨率（光激發），并保持 SEM 的原始固有空間分辨率（電激發）。再融合飛秒激光泵浦樣品聯動，實現對樣品的超快表征。

特點：

• 飛秒級激光激發陰極電子束

• 皮秒級射頻電激發電子束

• 同頻異步雙激發

• 飛秒激光泵浦樣品聯動

規格：

• 能量范圍：2~30 keV

• 電子束頻閃率：200kHz~25MHz（光激發），15MHz~3GHz（電激發）

• 電子脈沖長度：300fs（光激發），100ps~period-100ps（電激發）

• 輻射安全

• 與 SEM 腔真空兼容

• 在電激發下保持 SEM 的原始固有空間分辨率。