目錄:上海波銘科學(xué)儀器有限公司>>光譜系統(tǒng)>>顯微缺陷膜厚>> 高速相位差測(cè)量裝置 RE-200
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更新時(shí)間：2024-12-19 13:48:36瀏覽次數(shù)：409評(píng)價(jià)
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● 相位差（ρ[deg.], Re[nm]）
● 主軸方位角（θ[deg.]）
● 橢圓率（ε）?方位角（γ）
● 三次元折射率（NxNyNz）
● 位相差膜、偏光膜、橢圓膜、視野角改善膜、各種功能性膜
● 樹(shù)脂、玻璃等透明、非均質(zhì)材料（玻璃有變形，歪曲等）
● 什么是RE-200
● RE-200是光子結(jié)晶素子（偏光素子）、CCD相機(jī)構(gòu)成的偏光計(jì)測(cè)模塊和透過(guò)的偏光光學(xué)系相組合，可高速且高精度的測(cè)量位相差（相位差）、及主軸方位角。CCD相機(jī)1次快門獲取偏光強(qiáng)度模式，沒(méi)有偏光子旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，系統(tǒng)整體上是屬于小型構(gòu)造，長(zhǎng)時(shí)間使用也能維持穩(wěn)定的性能。
執(zhí)行擬合/傅立葉變換以計(jì)算橢圓度 ε 和方位角 γ。
| 型號(hào) | RE series |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 最小10×10mm ～最大100×100mm |
| 測(cè)量波長(zhǎng) | 550nm （標(biāo)準(zhǔn)仕樣）※1 |
| 相位差測(cè)量范圍 | 約0nm ～約1μm |
| 軸檢出重復(fù)精度 | 0.05°（at 3σ） ※2 |
| 檢出器 | 偏光計(jì)測(cè)模塊 |
| 測(cè)量光斑直徑 | 2.2mm×2.2mm |
| 光源 | 100W 鹵素?zé)艋?LED光源 |
| 本體?重量 | 300(W) × 560(H) ×430（D) mm 、約20kg |
Option
● Rth測(cè)量、全quan方位角測(cè)量※治具本體（旋轉(zhuǎn)：180°, 傾斜：±50°）
● 動(dòng)旋轉(zhuǎn)傾斜治具
視角改善膜A
視角改善膜B
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
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