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應用領域 | 化工 |
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MFC-E系列質量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業內*的微機電(MEMS)流量傳感器芯片技術,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有進口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等,具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。操作使用方便,可任意位置安裝,廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。輸出信號可選擇:4-20mA和1-5V模擬信號,以及RS485等數字通信方式。
產品應用
半導體加工
分析和環保
燃燒控制器
真空技術
表面處理
食品和制藥
化工(石化)等過程控制