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MKS MultiGas側(cè) 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜  分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分 析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas側(cè) 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能 分析含有高達(dá)40%水的氣流，能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，故  省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)MultiGas側(cè) 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操 作簡便，易于維護(hù)。

MultiGas側(cè) 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由傅利葉變換紅外光譜分析儀2102傅利葉變換紅外制成分光計(jì)，高光通量  取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫組成。MultiGas側(cè) 6030收集高分辨率的紅外光 譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測(cè)量。

MKS 傅利葉變換紅外光譜分析儀特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

10ppb-100靈敏度對(duì)于絕大多數(shù)有毒有害氣體

易于移動(dòng)從一處移到另一處，設(shè)置僅需幾分鐘

同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體

分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，省去了氣體筒的成本

取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定溫度

保護(hù)的線性檢測(cè)器，確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下

頻率和分辨率診斷，確保校準(zhǔn)恒定

提供自動(dòng)溫度和壓力補(bǔ)償以確保分析精度

用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓(xùn)即可操作

MKS 傅利葉變換紅外光譜分析儀應(yīng)用：

煙囪監(jiān)測(cè)器

工藝監(jiān)測(cè)改進(jìn)和優(yōu)化

空氣環(huán)境分析

氣體純度分析

燃燒排放監(jiān)測(cè)

選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測(cè)

光譜分析

Multigas的分析器有個(gè)具有定量和多功能的分析軟件，它能同時(shí)分析和報(bào)道許多混合物的濃度，這個(gè)能在個(gè)人電腦上運(yùn)行的軟件，能對(duì)分析器直接量測(cè)到的氣體溫度和壓力的變化進(jìn)行自動(dòng)修正。樣本的收集和分析在一秒內(nèi)完成，進(jìn)行瞬時(shí)分析。

整個(gè)數(shù)據(jù)整理過程中，MultiGas軟件一邊計(jì)算SETUP里面選擇氣體的濃度，一邊不斷的收集和描繪光譜。顯示形式包括濃度歷史的圖表和列表形式，測(cè)得的光譜和殘余光譜。這個(gè)殘余光譜能被用來確定分析的誤差，使得QA/QC變得簡單和真實(shí)。當(dāng)解決了所有被提及的光譜后，殘留光譜就描繪“剩余的”光譜信息一次。一旦光譜被收集和保存，這些光譜可以在任何時(shí)候利用同樣或不同的零點(diǎn)設(shè)定進(jìn)行再工藝。

對(duì)應(yīng)環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設(shè)計(jì)，2102傅利葉變換紅外分光計(jì)是緊湊和粗糙的，能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作，是可用的處理FTIR方式中快速，靈敏和穩(wěn)定的！另外，它能在在惡劣環(huán)境下操作，具有對(duì)高溫，振動(dòng)和溫度變化的免疫。更可貴的是，高速率的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是標(biāo)準(zhǔn)的，為分析提供低噪音的紅外光譜。

這個(gè)分光計(jì)連接到一個(gè)小體積(200mL)多變換，有5.11米有效通道的氣室，這個(gè)氣室的設(shè)計(jì)結(jié)合了非球面的，非端正的鏡子，它能為傳統(tǒng)的多變換氣室提供兩倍光學(xué)吞吐量。做為選擇，一個(gè)單變換的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強(qiáng)吸收率的氣體，任何一種氣室在環(huán)境溫度到191℃之間操作。

儀器的自主校準(zhǔn)

MultiGas的軟件有多點(diǎn)校準(zhǔn)圖，能提供一個(gè)動(dòng)態(tài)的范圍至10-9的的數(shù)量級(jí).許多核數(shù)的校準(zhǔn)都由其提供，另外，用戶也可以通過已知的濃度來進(jìn)行校準(zhǔn)。MultiGas軟件檢驗(yàn)每個(gè)工具的性能的效用，使它能把一個(gè)已經(jīng)在一臺(tái)機(jī)器上校準(zhǔn)的的值用于其他任何一臺(tái)機(jī)器上，而且不用變更。