一、Filgen 紫外臭氧清洗機的優點

●適用于各種基材的無損清洗。

●易于去除超聲波清洗無法清洗干凈的基材表面的有機污染物。

●能夠去除濕洗過程中殘留的有機溶劑。

●常壓下工作。無需真空環境。

●薄膜涂層基體預處理的理想解決方案。

二、Filgen 紫外臭氧清洗機的原理

紫外線臭氧清洗是利用短波長紫外線的光敏氧化作用。在此過程中，有機污染物如光刻膠、樹脂、硅油和焊劑通過吸收短波紫外線而分解。當氧氣分子和臭氧在波長分別為184.9nn和253.7nm紫外線照射下同時產生活性氧(ROS)。波長253.7nm的紫外線大部分被碳氫化合物和臭氧吸收。污染物與活性氧反應，生成易于揮發的氣體(如二氧化碳、水等)，然后逸出基質表面。當波長184 9nm和253.7nm紫外線同時作用下，氧原子持續不斷的生成并轉化為臭氧，最后臭氧被進一步分解。

三、應用

薄膜涂層的預處理

●功能膜的清洗(如ITO膜)

●各種薄膜沉積工藝前的清洗光刻膠去除

●電子、機械和光學部件的清潔(如:硅片、透鏡、鏡面、太陽能電池板、液晶面板和路板等)

●改善塑料表面涂層的粘接性能。

電子顯微鏡相關

●去除SEM/TEM樣品表面有機物污染

●提高金剛石、玻璃刀、支撐膜的潤濕性和親水性

其它

●原子力顯微鏡懸臂梁的清洗

●聚二甲基硅氧烷( PDMS)表面改性

●超高真空密封件的清洗

●清除助焊劑

●有機功能材料的刻蝕

●玻璃脫氣去除晶圓表面切割帶和標記墨水

●Ta2O5薄膜退火