目录:陕西易度智能科技有限公司>>产品特性分类>>应用特点>> MC100应用金刚石CVD气体质量流量控制器
| 应用领域 | 医疗卫生,食品,化工,制药,电气 | 精度 | ±1.0%S.P. |
|---|---|---|---|
| 重复精度 | ±0.2%F.S. | 工作流量范围 | 1%~100%F.S. |
| 介质温度 | -20℃~60℃ | 环境温度 | -20℃~50℃ |
| 使用湿度 | 0%~98%（无冷凝） | 工作压力 | 0-1MPa |
| 供电电压 | 24V±20% | 量程范围 | 0.5sccm~500slpm |
易度智能MC100系列，是一款应用金刚石CVD气体质量流量控制器，其可用多种气体，具有高精度、高重复性、快速响应、高稳定性等优势。
特征：
l 原理：层流压差式原理
l 便捷操作：提供上位机软件设定流量。
l 核心优势：单机可用多种气体，较快的响应时间，并且可以设定后自主运行的性能
l 宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内
l 实时显示4种过程变量
l 内置60多种气体，简单切换气体，无需查找、输入系数，可自主编辑混合气体
l 无需预热时间，开机即可使用，减少贵重气源浪费。
产品规格：
l 产品型号：MC100
l 量程范围：0.5sccm~500slpm
l 阀门种类：N/C（常闭型）
性能参数：
l 精度：±1.0%S.P.(设定值)(20%～100%量程范围) ±0.2%F.S.(满量程)(1%～10%量程范围)
l 重复精度：±0.2%F.S.
l 压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100kPaA； Span：≤±0.2%F.S./100kPaA（基准100kPaA)
l 温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度25℃）
l 零点漂移：±0.2%F.S./年
l 工作范围：1%~100%F.S.
l 响应时间：≤700ms.
l 启动预热时间：1s
使用条件：
l 介质温度：-20℃~60℃
l 环境温度：-20℃~50℃
l 使用湿度：0%~98%（无冷凝）
l 工作压力：0~1Mpa
l 耐压：1.5Mpa
l 工作压差范围：100kPa~600kPa
l 供电电压：24V±20%
l 消耗电流：＜500mA （＜12V）
l 安装方式：任意角度
l 接气部材质：SUS316L
l 进出口：管螺纹（内螺纹）
l 接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶
通讯方式：
l 数字信号：RS485，Profibus
l 模拟信号：4-20mA，0-5V
应用场景
l 金刚石生产过程中的气体流量控制
l CVD设备中的气体流量控制
l 化学气相沉积中的气体流量控制
MC100应用金刚石CVD气体质量流量控制器内置多种气体，方便用户使用。快速响应可迅速纠偏，抗气源压力波动，层流压差原理使得产品具有较高的可靠性和稳定性。内置高精度的温度和压力传感器，确保产品具有极低的温漂和压漂，长期稳定性较好，产品连续在线工作控制准确度和稳定性好。
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