目錄:沈陽科晶自動化設備有限公司>>薄膜生長設備>> GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機是一種利用電阻加熱使膜材汽化蒸發后凝結在基片上成膜的加熱鍍膜方法，該方法結構簡單、實用，使用可靠，適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產前的試驗工作。
適用范圍：鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽能電池的器件制備等
·鈣鈦礦鍍膜機主要由金屬源蒸發沉積室，真空排氣系統，真空測量系統，有機蒸發源，無機蒸發源，樣品臺系統，電控系統，配氣系統等部分組成
·方便操作，制成的薄膜純度高、質量好，膜厚可以準確的控制，成膜速率快，效率高，用掩膜可以獲得清晰的圖形，薄膜的生長比較單純。
·恢復工作真空快，大氣至5×10-4Pa≤15分鐘。
| 產品名稱 | GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機 | |
| 產品型號 | GSL-1800X-ZF6 | |
| 主要參數 | 1、極限真空度：5×10-5Pa，保壓12小時 2、膜厚均勻性≥95%；重復性≥95%； 3、不銹鋼蒸發基片托1個，最大可容納一塊4英寸樣品 4、蒸發源距離可調范圍：260mm-320mm 5、蒸發水冷電極2組（6個），組成4個蒸發舟，最大輸出功率3Kw（電壓 10V；電流300A）。 6、提供2臺有機電源，2臺無機電源，最多同時蒸發4種材料。 7、方型真空室尺寸500mm×500mm×450mm（長×寬×高） | |
| 序號 | 名稱 | 數量 | 圖片鏈接 |
| 1 | 有機材料蒸發電源 | 2套 | - |
| 2 | 無機材料蒸發電源 | 2套 | - |
| 3 | 膜厚監測儀系統 | 1套 | - |
| 4 | 分子泵 | 1臺 | - |
| 5 | 冷水機 | 1臺 | - |
| 6 | 聚酯PU管（?8、6、4mm） | 10m | - |
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