目錄:北京精量科技有限公司>>氣體 質量流量計/控制器>>真空及負壓流量測量及控制>> 負壓或真空腔室用的氣體質量流量計及MFC
應用領域 | 醫療衛生,電子,制藥,電氣,綜合 | 流量范圍 | 0~300SLM |
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一、負壓或真空腔室用的氣體質量流量計及MFC 產品概述:
1、精度更高,響應更快,帶網口;
2、管狀分流,不易堵塞;
3、適用于各種低壓和高壓管道以及抽真空的環境;
4、預熱時間短,零漂小,可靠性高;
5、模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量;
6、數字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協議可選;
二、產品應用:
真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金
環保 / 食品包裝 / 生物醫藥 / 新材料 / 工業制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統
三、負壓或真空腔室用的氣體質量流量計及MFC 產品參數:
滿量程范圍:2SCCM~300SLM
準 確 度:±0.5%F.S
線 性:±0.5%F.S
重復精度:±0.2%F.S
響應時間:流量計:<0.1s; 流量控制器:<0.2s
數 字 量:RS232/485,MODBUS協議
模 擬 量:0~5V、4-20mA、1~5V
供 電:±15VDC,24VDC
工作溫度:0~50℃
工作壓降:<0.01Mpa(流量計)
工作壓差:0.1~0.5Mpa (流量控制器)
耐 壓:3MPa/10MPa
漏 率:1×10-9SCCSHe
溫度系數:±0.025%F.S/℃
底座材質:不銹鋼
密封材質:氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯,全氟醚FFKM/FFPM等
接 頭:φ3,φ6,1/8",1/4",3/8",1/2"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。
如果所需性能要求與上述性能不同,可以溝通定制。