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目錄:賽默飛電子顯微鏡>>冷凍電鏡>> Helios 5 Hydra DualBeam

Helios 5 Hydra DualBeam
  • Helios 5 Hydra DualBeam
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 品牌 FEI/賽默飛
  • 型號
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時間:2024-08-28 14:02:41瀏覽次數:620評價

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價格區間 面議 儀器種類 熱場發射
應用領域 環保,化工
Helios 5 Hydra DualBeam
離子源可提供以下四種快速、可切換離子種類,應用空間最為廣泛:Xe、Ar、O、N

Helios 5 Hydra DualBeam

具有多個離子種類、適用于 3D EM 和 TEM 樣品制備的等離子聚焦離子束掃描電子顯微鏡檢查

Helios 5 Hydra DualBeam主要特點

應用空間廣泛

離子源可提供以下四種快速、可切換離子種類,應用空間最為廣泛:Xe、Ar、O、N

高通量和高質量

使用下一代 2.5 μA 等離子 FIB 色譜柱進行高通量、高質量和統計學相關的 3D 表征、交叉切片和微加工。

先進的自動化

使用選配的 AutoTEM 5 軟件,以最快速輕松的方式實現自動化多點原位和非原位 TEM 樣品制備以及交叉切片

高質量樣品制備

由于采用新型 PFIB 色譜柱,可實現 500 V 最終拋光以及在所有操作條件下均可提供出色的性能,可以用氙、氬或氧進行高質量無鎵 TEM 和 APT 樣品制備。

納米級實現周期短

借助 SmartAlign 和 FLASH 技術,任何經驗水平的用戶都可以最短時間獲得納米級信息

完整的樣品信息

可通過多達六個集成在色譜柱內和透鏡下的集成探頭獲得清晰、精確且無電荷對比度的最完整的樣品信息

電子和離子束誘導沉積和蝕刻

通過選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統,在 DualBeam 系統上實現的電子和離子束誘導沉積和蝕刻功能。

精確的樣品導航

借助 150 mm 壓電載物臺的高穩定性和準確性或 110 mm 載物臺的靈活性以及選配的腔室內 Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機,可根據具體應用需求進行定制。

無偽影成像

基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式,例如 SmartScan 和 DCFI 模式


性能數據


Helios 5 Hydra CX DualBeamHelios 5 Hydra UX DualBeam
電子束分辨率
  • 在最佳 WD:

    • 1 kV 時 0.7 nm

    • 500 V (ICD) 時 1.0 nm

  • 在重合點:

    • 15 kV 時 0.6 nm

    • 1 kV 時 1.2 nm

電子束參數空間
  • 電子束電流范圍:在所有加速電壓下 0.8 pA 至 100 nA

  • 加速電壓范圍:350 V – 30 kV

  • 著陸能量范圍:20* eV – 30 keV

  • 最大水平射野寬度:4 mm WD 時 2.3 mm

離子光學系統

高性能 PFIB 色譜柱,具有的電感耦合等離子 (ICP) 源,支持四種離子種類,并具有快速切換能力

  • 離子種類(初級離子束):Xe、Ar、O、N

  • 切換時間<10 分鐘,僅需軟件操作

  • 離子束電流范圍:1.5 pA 至 2.5 μA

  • 加速電壓范圍:500V – 30 kV

  • 最大水平射野寬度:在等離子束重合點處為 0.9 mm

重合點時的氙離子束分辨率

  • <使用統計方法在 30 kV 時為 20 nm

  • 使用選擇性邊緣方法在 30 kV 時<10 nm

腔室
  • 在分析 WD 時的 E 和 I 束重合點 (4 mm SEM)

  • 端口:21

  • 內部寬度:379 mm

  • 集成式等離子清潔器

探頭
  • Elstar 色譜柱鏡筒內 SE/BSE 探頭(TLD-SE、TLD-BSE)

  • Elstar 色譜柱柱內 SE/BSE 探頭 (ICD)*

  • Everhart-Thornley SE 檢測器 (ETD)

  • 查看樣品/色譜柱的 IR 攝像機

  • 用于二級離子 (SI) 和二級電子 (SE) 的高性能腔室內電子和離子探頭 (ICE)

  • 腔室內 Nav-Cam 樣品導航攝像機*

  • 可伸縮、低電壓、高對比度、定向、固態反向散射電子探頭 (DBS)*

  • 集成的等離子束電流測量

載物臺和樣品

靈活的五軸電動載物臺:

  • XY 范圍:110 mm

  • Z 范圍:65 mm

  • 旋轉:360°(無限)

  • 傾斜范圍:-38° 至 +90°

  • XY 重復性:3 μm

  • 最大樣品高度:與共心點間距 85 mm

  • 0° 傾斜時的最大樣品重量:5 kg(包括樣品架)

  • 最大樣品尺寸:旋轉時 110 mm(也可以是更大的樣品,但旋轉有限)

  • 計算中心旋轉和傾斜

高精度五軸電動載物臺,配有壓電驅動的 XYR 軸

  • XY 范圍:150 mm

  • Z 范圍:10 mm

  • 旋轉:360°(無限)

  • 傾斜范圍:-38° 至 +60°

  • XY 重復性:1 μm

  • 最大樣品高度:與共心點間距 55 mm

  • 0° 傾斜時的最大樣品重量:500 g(包括樣品架)

  • 最大樣品尺寸:旋轉時 150 mm(也可以是更大的樣品,但旋轉有限)

  • 計算中心旋轉和傾斜



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