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Alicat艾里卡特耐高壓系列氣體質量流量計規格：

可定制量程 10 SCCM -1000 SLPM

標準規格：

· 量程: 10 SCCM至5000 SLPM(10,000 SLPM for H2)

· 量程比: 0.1% – 100% 滿量程

· 精度: ±0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程,以兩者中較大者為準

· 重復性:  +0.1% 滿量程

· 響應時間: < 10 ms

· 工作溫度: –10℃ to +60℃

· 工作壓力: 320 PSIA (22 barA)

Alicat艾里卡特耐高壓系列氣體質量流量計特點：

· 同時測量體積流量、質量流量、氣體壓力和氣體溫度

· 可調整的工程單位和STP/NTP條件

· ?98+內置氣體自由切換，并具有NIST可追溯精度

· 可自定義和儲存 20?種氣體混合物(多達5種氣體)

· 背光顯示器并使用集成觸摸板控制配置

· 標配流量累加器以及警報器

配件：

· 電源、電纜和配件（單獨售出）

組成和性能選項：

· 通訊模式: Analog, RS–232, RS–485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus, PROFINET

· 過程連接 : NPT, SAE, AN, BSPP/G, compression, VCR, VCO

· 顯示屏 : 背光單色屏或TFT彩屏；一體化集成或面板單獨安裝

· 密封圈: FKM, FFKM, EPDM, Silicone

· 校準: 自定義校準點