UL3000 Fab 可移動式英福康氦氣檢漏儀

UL3000 FAB ULTRA 的附加*性。

·較早地起始泄漏檢查，由于HYDRO·S軟件限制水蒸汽本底，使它有可能快速進入高靈敏的測量范圍。

·快速抽空，由于對空氣的高抽速。

·低使用成本(TCO)由于無需維護的羅茨粗抽泵。

低的運行和維護成本

維護費用低，使用壽命長:

·堅實耐用的真空系統

·加固的離子源,長達三年保修期

易于進入應用區域

·小型和堅實的結構,穩定和良好的移動性

·重心低，易搬運

·大膠輪,易于翻越障碼物

典型的應用

■INFICON 檢漏儀日常用于大型半導體生產中

■各種過程工藝包括:刻蝕.CVD,PVD,真空爐,離子注入，MOCVD,太陽能,FPD 等

■工藝維護后快速確認工藝的完整性和應修復的漏孔部位

■在次級生產中的真空管線和泵

■氣柜和復雜的氣體輸送管線

■生產設施和治理

易檢測大漏孔

可非常快地檢測大漏孔,由于不再需要等待系統抽空。這得益于:

■大漏檢測功能(專用的泵/閥組功能)

UL3000 Fab 可移動式英福康氦氣檢漏儀

您的泄漏檢測解決方案專家

INFICON可為高度專業化行業中要求極為苛刻的真空過程提供權球嶺先的測量和傳感器技術及過程管理服務。特別是在制冷和空調技術,半導體制造和汽車生產等領域，INFICON的氣體泄漏檢測產品有著廣泛應用。

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