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IDL-V垂直平臺產品規格

• 行程范圍
  20 mm
• 最小位移增量
  0.1 µm
• 最大速度
  5 mm/s
• 中心負載能力
  500 N
• 精度，保證值
  ±2 µm (over full travel)
• 雙向重復精度，保證值
  ±0.6 µm
• 單向重復精度，保證值
  ±0.1 µm
• 驅動機制
  Precision ball screw
• 驅動螺距
  2 mm
• 軸承
  Double row recirculating ball bearings
• 減速輪
  Belt gear 1:4 + Wedge 1:2
• 基座材料
  Anodized Alumnimum
• 反饋
  Screw-mounted rotary encoder, 5,000 cts/rev, index pulse
• 編碼器分辨率
  50 nm
• 限位開關
  Optical
• 原點
  Optical, at center of travel, including mechanical zero signal
• 原點重復精度
  ±0.5 µm
• 連接器
  DB25
• 俯仰，保證值
  ±50 µrad
• 滾轉，保證值
  ±50 µrad
• 電纜長度
  3 m
• 重量
  32 lbs. (14.5 kg)
• MTBF
  20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
• RoHS
  Compliant

IDL-V垂直平臺特征

工業級的構建和性能

IDL-V垂直平臺專注于高通量，重載能力和較高的耐用性，旨在滿足精密工業激光微加工的嚴格要求。 有關其他旅行范圍或大小，請聯系Newport。

匹配IDL線性平移臺

IDL280-Z20基于經過客戶驗證的模塊化楔形設計，可提供亞微米MIM，平滑運動和堅固的結構，可與高動態性能XY系統配合使用。 特別是，它與“> IDL280工業級線性電動機平移臺匹配，因此易于安裝 安全地構建多軸系統，并從任何一側提供對載荷的無障礙訪問。

負荷圖

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for the IDL280-Z20 vertical stage are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

The maximum power consumption is 50 W.