目錄:北京鴻瑞正達科技有限公司>>薄膜材料生長成套設備>> 生長納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW
產品簡介: 生長納米線 CVD 爐 OTF-1200X-4-NW 是一種緊湊型 CVD 爐,專為生長各種納米線而設計,基 片 3″。在法蘭的左側裝有一個小加熱器,可對輸入的氣體、液體、固體進行預加熱后進入 CVD 爐 進行納米線的生長。其可滑動的樣品架使操作更為簡單。
產品型號 | 生長納米線 CVD 爐 OTF-1200X-4-NW |
安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水:不需要 2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設備腔室內需充注氣體,需自備氣瓶氣源 4、工作臺: 尺寸 1600mm×600mm×700mm ,承重 150kg 以上 5、通風裝置:需要 |
主要特點 | 1 、由 OTF-1200X-4 單溫區爐演變而來的緊湊型 CVD 爐。 2 、內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。 3 、帶樣品支架的右法蘭是滑動的,方便樣品的快速取放。 4 、左側的小加熱器可對輸入 CVD 爐的氣體、液體、固體或混合物進行預加熱,不銹鋼加熱腔 外徑 30mm 、長 150mm ,工作溫度 600℃。 5 、左邊法蘭(在加熱器與 CVD 爐之間) 裝有 4 個 1/4″卡套連結的通氣管,具有密封和氣體通 道的作用。 6 、PID 自整定數字控制器 ,可以設置 30 段升降溫程序。 |
7、選配相關軟件可用計算機進行控溫。 | |
8 、已通過 CE 認證。 | |
技術參數 | 1 、額定電壓: 單相 AC 220V 50Hz/60Hz |
2、額定功率: 3KW(需 20A 的空氣開關) | |
3、石英管: 外管外徑 ?110mm ,內徑 ?102mm ,長 381mm | |
4、加熱區域: CVD 爐 400mm ,加熱器 150mm | |
5 、工作溫度: CVD 爐 1100℃(<2h),連續工作 200℃-1000℃, 升降溫速率 10℃ /min; 加熱器連續工作 0-500℃, 升降溫速率 10℃/min | |
6 、控溫精度:±1℃ | |
7、熱電偶: K 型 | |
8、右法蘭:一個 3″石英樣品支架, 與石英擋板、法蘭連成一體, 設有 KF25 真空快接口, 以 及水冷接口(可選配水冷機, 避免 O 型圈融化) | |
9、左法蘭: 有 2 個獨立 1/4″口,可單獨將任何氣體通入爐內,一路 1/4″口將預熱氣體通入 CVD 爐,一路 1/4″口將不加熱的氣體通入爐內,并通過爐內的 T 型結構與加熱氣體匯合 | |
產品規格 | 尺寸: 1200mm×450mm×510mm;重量: 100kg |
可選配件 | 1、水冷機 |
2、控溫軟件 |