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目錄:蘇州愛拓利電子設備有限公司>>流量計>>氣體質量流量控制器>> MFC300-03D氣體質量流量控制器

氣體質量流量控制器
  • 氣體質量流量控制器
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  • 氣體質量流量控制器
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 愛拓利
  • 型號 MFC300-03D
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 蘇州市
屬性

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>

更新時間:2024-12-17 20:35:10瀏覽次數(shù):49評價

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產地類別 國產 產品種類 質量式
價格區(qū)間 面議 介質分類 氣體
應用領域 綜合
MFC300-03D 氣體質量流量控制器采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。


MFC300-03D 氣體質量流量控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

氣體質量流量控制器
MFC300-03D 氣體質量流量控制器工作原理


產品特點

超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應

高重復性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置


主要參數(shù)
  • 介質要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
  • 量程
    0-5,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,3,4,5 slpm
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. (1:500)
  • 準確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
  • 傳感器響應時間
    5ms
  • 控制響應時間
    300ms
  • 預熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式
  • 泄漏率
    1*10-11Pa.m3/sec He



機械特性
  • 最大工作壓力
    1.1 MPa(11bar)
  • 工作壓差范圍
    0-1 MPa
  • 工作溫度范圍
    0-65℃(環(huán)境和氣體)
  • 溫度范圍
    0 - 98%無凝露
  • 氣路接頭類型
    快插、快擰、卡套、VCR(可選)
  • 氣體接觸材質
    氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
  • 密封材質
    氟橡膠 FKM
  • 防護等級
    IP40
  • 安裝方式
    任意方向安裝
  • 固定孔
    M4 ↓ 5mm
  • 重量
    0.38kg



電氣和通訊
  • 電氣連接接口類型
    DB-9 male
  • 輸入輸出阻抗
    輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<600Ω
  • 數(shù)字信號
    Modbus RTU(RS232,RS485),CAN
  • 量程
    0-2,10,20,30,100,300,500sccm
    0-1,2,5,10,20,30slpm
  • 通信速率
    9600(默認),14400,19200,38400 bps(用戶可修改)
  • 電源
    15-40 VDC,100 mA



特征
  • 標況
    20℃,1 atm
  • 氣體選擇
    可選,具體參考說明書氣體系數(shù)
  • 軟件
    Aitoly分階流量軟件



尺寸
滿量程深度ABCDE重量
5 sccm~5 slpm66.20 mm51.00 mm39.00 mm43.70 mm27.40 mm4.30 mm5.80 mmM4 ↓ 5 mm≈0.38 kg
2.606 in2.008 in1.535 in1.720 in1.079 in0.169 in0.228 inM4 ↓ 0.197 in≈0.84 lb



氣體質量流量控制器
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