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濟寧天華超聲電子儀器有限公司

實驗室數(shù)控超聲波清洗器,全自動醫(yī)用超聲波清洗機

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TH-20KW多晶硅超聲波清洗機

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  • 濟寧天華超聲電子儀器有限公司
  • 2024-01-18 09:39:58
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【簡單介紹】

品牌 TIANHUA/天華 價格區(qū)間 1萬-5萬
出料粒度 0.01mm以下 樣品適用 多種樣品
儀器種類 珠磨機 產(chǎn)地類別 國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,建材,電子,綜合
多晶硅超聲波清洗機產(chǎn)品介紹 1、機械手或多機械手組合,實現(xiàn)工位工藝要求。

2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。

3、自動上下料臺,準(zhǔn)確上卸工件。

4、凈化烘干槽,*的烘干前處理技術(shù),工作干燥無水漬。

5、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。

6、具備拋動清洗功能,保證清洗均勻。

【詳細(xì)說明】

多晶硅超聲波清洗機產(chǎn)品介紹   1、機械手或多機械手組合,實現(xiàn)工位工藝要求。


2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。


3、自動上下料臺,準(zhǔn)確上卸工件。


4、凈化烘干槽,*的烘干前處理技術(shù),工作干燥無水漬。


5、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。


6、具備拋動清洗功能,保證清洗均勻。

多晶硅超聲波清洗機技術(shù)參數(shù) 超聲波功率:10.2KW 超聲波頻率:40K/80KHZ 換能器數(shù)量:200個 電源電壓:三相五線380V應(yīng)用范圍 多晶硅超聲波清洗加工設(shè)備,可廣泛用于IC生產(chǎn)及半導(dǎo)體元器 件生產(chǎn)中晶片的濕法化學(xué)工藝。該設(shè)備可有效去除晶片表面的 有機物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器 皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。 爐前(RCA)清洗:擴散前清洗 光刻后清洗:除去光刻膠。 氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所胡的沾污物。 拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的沾污。 外延前清洗:除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。 合 金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質(zhì)及光膠殘渣。離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2層。擴散預(yù)淀積后清洗:除去預(yù)淀積時的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物。


    
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