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1700度高溫CVD系統(tǒng) (高真空 低真空可選)

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更新時(shí)間:2021-09-27 23:10:46瀏覽次數(shù):4684

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BTF-1700C-CVD1700度高溫CVD系統(tǒng) (高真空 低真空可選)是由1700度管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)以及國(guó)產(chǎn)高真空系統(tǒng)(或選配低真空系統(tǒng))所組成。

詳細(xì)介紹

設(shè)備1700度高溫CVD系統(tǒng) (高真空 低真空可選)特點(diǎn)

  此款1700℃高溫CVD系統(tǒng),是由1700度管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)以及國(guó)產(chǎn)高真空系統(tǒng)(或選配低真空系統(tǒng))所組成。此設(shè)備主要用于:真空或氣氛燒結(jié)、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實(shí)驗(yàn)環(huán)境. 設(shè)備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠,溫場(chǎng)均勻,結(jié)構(gòu)合理,氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡(jiǎn)單、方便;設(shè)備的各項(xiàng)技術(shù)參數(shù),30段可編程溫控系統(tǒng)更是一目了然,使整個(gè)實(shí)驗(yàn)的運(yùn)行狀態(tài)盡在您的掌控之中。

1700度高溫CVD系統(tǒng) (高真空 低真空可選

加熱區(qū)參數(shù)

 爐管尺寸:Φ60/80×1000mm(管徑可選)

 加熱元件:硅鉬棒

 加熱區(qū)長(zhǎng)度:300mm

 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:150mm

 工作溫度:1550℃

 最高溫度:1650℃

 控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

 控溫精度:±1℃

 推薦升溫速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min

 工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

 額定功率:5.2 KW

 外型尺寸:610×440×720 mm

 標(biāo)準(zhǔn)配件:高純剛玉管1支,氧化鋁管堵2對(duì),不銹鋼法蘭1套,氟膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險(xiǎn)1個(gè);

 密封系統(tǒng):爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭),端口可按實(shí)際使用擴(kuò)展。

氣路系統(tǒng)參數(shù)

 

 質(zhì)量流量計(jì)參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

 準(zhǔn)確度:±1.5%

 線性:±0.5~1.5%

 重復(fù)精度:±0.2%

 響應(yīng)時(shí)間:≤10sec

 工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

 最大壓力:3MPa

 接口:Φ6,1/4''

 顯示:4位數(shù)字顯示

 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

 內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6

 壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止閥:Φ6

 連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

 可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質(zhì)量流量計(jì)

低真空系統(tǒng)參數(shù)

 

 抽速:10m3/h

 極限真空度:5*10-1pa

 電源:220v 50hz

 電機(jī)功率:0.4kw  

 進(jìn)排氣連接口:KF25

 用油量:1.1L

 電機(jī)轉(zhuǎn)速:1440rpm

 工作環(huán)境溫度:5-40℃

 噪音:≤56db

 電阻真空計(jì)參數(shù):

 1.配用規(guī)管:電阻規(guī),

 2.測(cè)量范圍: 105~10-1 Pa,

 3.測(cè)量路數(shù): 1路

 4.控制范圍: 5×103~5×10-1Pa,

 5.控制方式:繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載

 6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

 7.功耗: 20W

 采用波紋管手動(dòng)擋板閥與真空系統(tǒng)相連接

高真空系統(tǒng)參數(shù)

 

 空氣相對(duì)濕度:≤85%

 工作電壓:AC220V±10%  50/60HZ

 功率:1KW

 系統(tǒng)整體極限真空度:10-5Pa

 實(shí)驗(yàn)真空度:10-3Pa

 外形尺寸:850×600×650mm

 機(jī)械泵:

 抽氣速率:10m3/h

 容油量:1.1L

 電機(jī)功率:400W

 極限壓強(qiáng):6×10-2Pa

 分子泵:

 抽氣速率:100L/S

 極限壓強(qiáng):6×10-6Pa

 啟動(dòng)時(shí)間:<2min

 額定轉(zhuǎn)速:4300轉(zhuǎn)/分

 冷卻方式:環(huán)境溫度5-32℃時(shí),風(fēng)冷;5-40℃時(shí),水冷。

 分子泵控制器:

 電壓:220V±22V

 啟動(dòng)電流:≤7A

 輸入頻率:47HZ~63HZ

 最大輸出功率:≤150W

 最大加速電壓:≤40V

 加速時(shí)間:≤3min

 頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

                        低速430HZ±5HZ

 復(fù)合真空計(jì):

 測(cè)量路數(shù):2路(電阻規(guī)、電離規(guī)各1路)

 工作模式:手動(dòng)/自動(dòng)

 電阻單元參數(shù)

 規(guī)管型號(hào):電阻規(guī)

 測(cè)量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

 有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

 控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

 電離單元參數(shù)

 規(guī)管型號(hào):電離規(guī)

 可測(cè)范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

 有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

 控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

 規(guī)管除氣方式:焦耳去氣

 其他參數(shù)

 控制路數(shù):4路

 控制方式:點(diǎn)動(dòng)或區(qū)域控制/帶掉電記憶

 控制精度:±1%

 采樣時(shí)間:1s

 電源:220V±10% 50HZ

 功耗:50W

 使用環(huán)境溫度:0℃~45℃

 濕度:≤85%

 連接管路:采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s,采用波紋管手動(dòng)擋板閥與真空系統(tǒng)相連接。

備注:

可根據(jù)工藝要求選配低真空或高真空系統(tǒng)。


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