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等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng): 返回列表頁(yè)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

型號(hào) BTF-1200C-SL-A
品牌 貝意克
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
所在地 合肥市

在線(xiàn)詢(xún)價(jià) 收藏產(chǎn)品

更新時(shí)間：2024-08-15 11:39:01瀏覽次數(shù)：261

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原價(jià)	￥1500
參考價(jià)	￥1000	￥900	￥800
訂貨量	1-2000臺(tái)	2000-4000臺(tái)	4000-6000臺(tái)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)。本設(shè)備集真空系統(tǒng)、供氣流量系統(tǒng)、自動(dòng)推進(jìn)、加熱于一體，并將所有控制集成于觸屏操控界面之中，使設(shè)備更加智能化，便于使用者操作。溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)，加熱區(qū)域長(zhǎng)度：1650mm。適用范圍寬：金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，連續(xù)生長(zhǎng)各種薄膜等。

詳細(xì)介紹

一、設(shè)備簡(jiǎn)介

BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統(tǒng)。本設(shè)備集真空系統(tǒng)、供氣流量系統(tǒng)、自動(dòng)推進(jìn)、加熱于一體，并將所有控制集成于觸屏操控界面之中，使設(shè)備更加智能化，便于使用者操作。溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)，加熱區(qū)域長(zhǎng)度：1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，連續(xù)生長(zhǎng)各種薄膜等。

二、技術(shù)參數(shù)

功率	3KW
額定電壓	AC 220V 50/60HZ
最高溫度	1200℃
工作溫度	1100℃
推薦升溫速率	10℃/min
空開(kāi)大小（自備）	2P 40A
爐管尺寸	高純石英管Φ100*1400mm
最大滑動(dòng)距離	880mm
控溫方式	模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制
控溫精度	±1℃
加熱元件	電阻絲
熱電偶	K型
質(zhì)量流量計(jì)	兩路500sccm+5000sccm
機(jī)械泵	10m³/h
設(shè)備凈重	約230Kg