光刻機冷卻機組保養(yǎng)維護須知

光刻機冷卻機組保養(yǎng)維護須知

　　如今光刻機冷卻機組的使用越來越廣泛，在使用過程中，如何對光刻機冷卻機組進行保養(yǎng)和維護，關系著設備的使用壽命以及是否能夠提高生產力的關鍵所在。

　　對于企業(yè)來說，設備保養(yǎng)負責人應該制定每月的定期檢查和保養(yǎng)計劃。其內容如下：檢查設備各個線路連接是否正常，以及電源線是否老化，檢查電源是否缺相。并且要做好檢查結果，對于有問題的應及時上報，并且計劃完善對光刻機冷卻機組線路的檢查處理工作。另外在電氣方面，還應該觀察和記錄設備運轉時的電流。

　　除了定期觀察和記錄運轉電流之外，還應該對系統(tǒng)的壓力和溫度控制進行觀察和記錄。做好數(shù)據(jù)記錄和統(tǒng)計工作，能夠通過數(shù)據(jù)對比有效的發(fā)現(xiàn)問題，從而解決問題。

另外在對光刻機冷卻機組的電氣檢查之外，還應該檢查油位，冷媒系統(tǒng)，循環(huán)水水質等。其中較為常見的故障往往出現(xiàn)在循環(huán)水的問題，當循環(huán)水的水質多時，往往會造成堵塞，此時除了要清理系統(tǒng)內水質雜志之外，還應該更換循環(huán)水。檢查冷媒系統(tǒng)時，應該著重檢測冷媒系統(tǒng)的量是否充足。

　　企業(yè)對于操作光刻機冷卻機組的人員應該進行培訓工作，應該讓員工在通讀光刻機冷卻機組說明書的前提下讓其上崗。并且在學習中，應著重對其進行光刻機冷卻機組的保養(yǎng)和維護工作的培訓和講解。

　　如有必要，可以向廠商申請專門的售后服務人員，來對員工進行培訓教育。做好對光刻機冷卻機組做保養(yǎng)和維護其實基本的是要培養(yǎng)員工的保養(yǎng)和維護的意識，意識有了，然后就是增加員工的執(zhí)行力。做保養(yǎng)維護工作，重要的是持之以恒，將設備的故障率降低，就等于創(chuàng)造了效益和價值。