光刻機溫度控制裝置該如何選型

光刻機溫度控制裝置該如何選型

　　如何選擇合適的工業(yè)冷水機組，在機組的設計上又應該注意哪些方面呢?

　　1. 使用光刻機溫度控制裝置還是水冷式冷水機

　　工業(yè)冷水機組的冷凝方式分為風冷式和水冷式，對應的設備也常被稱為光刻機溫度控制裝置組和水冷式工業(yè)冷水機組，光刻機溫度控制裝置組的選型先要考慮是否適合采用風冷的冷凝方式

　　2. 確定制冷量需求

　　需要計算待控溫設備實際應用所需要的制冷量是多少，通常可以根據(jù)客戶所提供的制冷量或壓縮機功率要求來直接確定，也可以根據(jù)實際工藝情況和經(jīng)驗來進行估算，需要注意的是通常所說光刻機溫度控制裝置組的制冷量指的是額定制冷量，還需要結(jié)合實際環(huán)境溫度等因素來計算。

　　3. 蒸發(fā)器的選擇

　　蒸發(fā)器類型：盤管式蒸發(fā)器 / 殼管式蒸發(fā)器 / 板式換熱器

　　蒸發(fā)器材質(zhì): 被冷卻液體（載冷劑）是否有耐酸耐堿等防腐要求，需要采用不銹鋼、鈦管等特殊材料

　　4. 循環(huán)水泵的選擇

　　應結(jié)合應用設備的管道、安裝距離、控溫精度等因素來確定光刻機溫度控制裝置組中冷凍水循環(huán)泵的流量及揚程。

　　光刻機溫度控制裝置的選型還有其他許多需要注意的方面，如供電電壓、冷媒是否有要求等等，在此不再一一贅述。