CAMTEK  自動光學(xué)檢驗AOI設(shè)備 三維集成電路

Camtek靈活平臺利用各種技術(shù)解決的復(fù)雜步驟3 dic發(fā)展和生產(chǎn)的需要。
我們*自動化的2 d和3 d測量和缺陷檢測能力覆蓋的產(chǎn)業(yè)需求解決產(chǎn)業(yè)路線圖。
該系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)分析工具使過程監(jiān)控和產(chǎn)量的提高。

功能

•高容量整片腫塊2 d和3 d檢查和計量
•層厚度測量
•調(diào)整層之間
•覆蓋測量
•高分辨率CD測量
•表面相關(guān)缺陷檢查
•TSV CD測量
•通過了檢驗
•通過揭示/指甲高度和co-planarity測量
•RDL檢驗和計量

技術(shù)

•Camtek*的白光三角測量傳感器
•先進的缺陷檢測和計量處理引擎
•高分辨率三維共焦傳感器
•光干涉測量技術(shù)對3 d

產(chǎn)品

Eagle-AP

Eagle-AP提供2 d和3 d檢驗和計量在同一平臺上,同時保持*的性能和吞吐量水平。

EagleT-AP

為先進的包裝設(shè)計市場,EagleT-AP提供了2 d和3 d檢驗和計量在同一平臺上,同時保持*的性能和吞吐量水平。